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篤摯儀器*的美國api激光干涉儀測量21中參數(shù)：包括線性定位誤差、直線度誤差、垂直度的偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角。XD系列激光干涉儀約在2000年進(jìn)入中國市場，是后來者，結(jié)合激光干涉技術(shù)和光電自準(zhǔn)直技術(shù)：不僅可用于精度的zui終評(píng)價(jià)也可用于機(jī)床的安裝調(diào)整。

美國API激光干涉儀XD Laser儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。其中6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成，從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測器識(shí)別后進(jìn)行電子記數(shù)，記錄長度位移。第二束光用作直線度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對(duì)位移由裝在傳感器內(nèi)的橫向疚光電二級(jí)管測得。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源，用來測量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測量儀在結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮，以使測量儀的橫向和角度漂移量都降低到zui小，從而保證測量儀的長期穩(wěn)定性。測量儀配有自動(dòng)氣壓、環(huán)境溫度補(bǔ)償器，自動(dòng)校正環(huán)境變化對(duì)激光波長及長度測量的影響，測量儀還配有專門設(shè)計(jì)的多重?cái)?shù)字濾波器，使由空氣波動(dòng)及溫度梯度引起的測量誤差降到zui小。 

美國API激光干涉儀XD Laser的特點(diǎn)：

¾ 一次安裝能測量6項(xiàng)精度指標(biāo)
¾ 包括線性定位誤差、 XX及YY兩個(gè)方向直線度、
¾ 偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角
¾ 把反射鏡換成五棱鏡既可測量兩軸間垂直度
¾ 兩點(diǎn)調(diào)光線. 無需三腳架. 測量調(diào)整簡單快速
¾ 傳統(tǒng)激光干涉儀測量20項(xiàng)精度指標(biāo)(三軸)，約需3天的時(shí)間； API干涉儀只約需半天!
¾ 測量直線度/小角度/垂直度/轉(zhuǎn)臺(tái)時(shí), 不怕斷光, 可當(dāng)自準(zhǔn)直儀用, 用于機(jī)床裝配調(diào)試