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影響機(jī)床幾何誤差的因素環(huán)境因素:

>環(huán)境溫度: 變化1 ℃,引起誤差:1 ppm(1微米/1米長);>大氣壓力: 變化2.5 mmHg,引起誤差: 1 ppm:相對濕度:變化50%,引起誤差: 1 ppm;

材料溫度: 變化1 ℃,引起誤差: 11 ppm(鋼),23 ppm(鋁);

XD系列激光干涉儀測量精度(標(biāo)準(zhǔn)型)特點(diǎn)：一次安裝能測量6項(xiàng)精度指標(biāo)F Anke B Yaw)F Angie A (PivehF Angie C iRoll包括線性定位誤差、XX及YY兩個(gè)方向直線度偏擺角、俯仰角、滾動角把反射鏡換成五棱鏡既可測量兩軸間垂直度兩點(diǎn)調(diào)光線.無需三腳架.測量調(diào)整簡單快速傳統(tǒng)激光干涉儀測量20項(xiàng)精度指標(biāo)(三軸)，約需3天的時(shí)間;API干涉儀只約需半天測量直線度/小角度/垂直度1轉(zhuǎn)臺時(shí),不怕斷光，可當(dāng)自準(zhǔn)直儀用,用于機(jī)床裝配調(diào)試

>儀器測量誤差在 0.5 ppm(0.5微米/米)激光長期穩(wěn)頻精度: 0.05 ppm

設(shè)計(jì)理念

>大大提高測量效率,減少機(jī)床受檢時(shí)間最高測量精度:0.5 ppm(標(biāo)準(zhǔn)型)0.2 ppm(精密型)提高實(shí)際測量精度降低使用難度

便攜性

測量機(jī)床全部誤差所用的時(shí)間越短，越能夠反映所測機(jī)床的真實(shí)情況。當(dāng)用傳統(tǒng)干涉儀測量時(shí)，因在測量各項(xiàng)指標(biāo)時(shí)更換光學(xué)鏡調(diào)整光路上要浪費(fèi)大量的時(shí)間，難以保證機(jī)床檢測數(shù)據(jù)的穩(wěn)定性和重復(fù)再現(xiàn)性